形状测定装置和异常检测方法
公开
摘要
本发明提供一种形状测定装置和异常检测方法。形状测定装置(1)具备：触头，其能够与工件接触；移动机构(4)，其使触头相对于工件进行相对移动；移动控制部(71)，其控制移动机构(4)；接触传感器(6)，其检测触头与工件的接触量，输出与接触量相应的检测信号(Sd2)；以及异常判定部(75)，其基于在移动机构(4)的将触头压紧于工件的动作的过程中从接触传感器(6)输出的检测信号(Sd2)的变化，来判定接触传感器(6)的灵敏度的异常。
基本信息
专利标题 ：
形状测定装置和异常检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114440810A
申请号 ：
CN202111293430.3
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吉谷里志宫崎智之
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111293430.3
主分类号 ：
G01B17/06
IPC分类号 ：
G01B17/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B17/00
以采用次声波、声波、超声波振动为特征的计量设备
G01B17/06
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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