使用臭氧的玻璃载体清洁
实质审查的生效
摘要
在用以从半导体制造方法中的玻璃载体移除有机黏合剂的方法中，玻璃载体放置于处理腔室中。玻璃载体被旋转，且加热的硫酸施加或喷洒于玻璃载体上。臭氧被引入处理腔室。臭氧通过硫酸扩散至玻璃载体的表面上的有机黏合剂。硫酸与臭氧和有机黏合剂化学反应且从玻璃载体移除有机黏合剂。
基本信息
专利标题 ：
使用臭氧的玻璃载体清洁
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114535203A
申请号 ：
CN202111330734.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
埃里克·J·伯格曼大卫·P·萨多克格雷姆·贝尔
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202111330734.2
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/10 B08B11/04 H01L21/683
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/08
申请日 : 20211111
申请日 : 20211111
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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