硅片载体使用的挂具

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接两个支臂的支撑部形成的U型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的作为紧固头用的凸起部。使用本实用新型，可以使挂具安装到硅片载体时，紧固头受力使支臂弯曲，使得安装会更为精确便捷。

基本信息

专利标题：

硅片载体使用的挂具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820139542.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-24

授权号：

CN201282133Y

授权日：

2009-07-29

发明人：

尤耀明

申请人：

尤耀明

申请人地址：

214092江苏省无锡马山碧波支路八号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200820139542.7

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 C23C14/00

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2018-10-16 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20081024
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20171024

2011-05-11 ：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101083935788
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利申请号 : 2008201395427
专利号 : ZL2008201395427
合同备案号 : 2011320000314
让与人 : 尤耀明
受让人 : 无锡绿波新能源设备有限公司
实用新型名称 : 硅片载体使用的挂具
申请日 : 20081024
授权公告日 : 20090729
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110318

2009-07-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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