一种硅片载体花篮的卡牙
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产领域。一种硅片载体花篮的卡牙,卡牙底部通过焊接或者一体化连接安装在载体花篮的侧栏上,该卡牙整体呈斧头状,顶部窄长底部宽短,在正视图中显示为倒梯形,侧视图中为三角形,底部为矩形。本实用新型可以在保证硅片之间足够间隔隔离的情况下,尽可能的减少了硅片与载体花篮卡牙之间的接触,保证化学品药液和热风烘干时,卡牙处硅片表面足够的流动性,避免了卡牙对硅片表面的污染,避免硅片表面的各种外观异常。
基本信息
专利标题 :
一种硅片载体花篮的卡牙
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920416865.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-29
授权号 :
CN210110816U
授权日 :
2020-02-21
发明人 :
李雪方刘文超贾雪平
申请人 :
山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请人地址 :
山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
代理机构 :
太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人 :
李富元
优先权 :
CN201920416865.4
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/673
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法律状态
2020-02-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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