研磨硅片载体坯调整装置
专利权的终止
摘要
一种研磨硅片载体坯调整装置,包括一根竖直杆,竖直杆插置在一底板的中部,竖直杆上套有一块压板,在所述底板与压板之间的竖直杆上还套设了若干块间隔平板,压板和间隔平板上开有若干个导热孔。本实用新型由于在底板与压板之间的竖直杆上增设了若干块间隔平板,并且在压板和间隔平板上开设导热孔后,在热处理过程中,有利于上、下形成热量循环,达到内外热量平衡,不但实现了分子结构重组、定型、硬化的目的,而且还能消除内应力。在压力作用下,由于设置了间隔平板,经液压机紧压的整体组件,萁平行度、翅曲度、平面度等技术指标都能达到产品使用要求。
基本信息
专利标题 :
研磨硅片载体坯调整装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820085956.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-04-23
授权号 :
CN201189632Y
授权日 :
2009-02-04
发明人 :
胡林宝
申请人 :
胡林宝
申请人地址 :
324300浙江省开化县华埠镇双桥路38号开化县模具厂
代理机构 :
杭州裕阳专利事务所(普通合伙)
代理人 :
应圣义
优先权 :
CN200820085956.6
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02 B24B37/04 H01L21/304
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2018-05-15 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20080423
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20170423
申请日 : 20080423
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20170423
2017-01-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101744284963
IPC(主分类) : B24B 29/02
专利号 : ZL2008200859566
登记生效日 : 20161213
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 胡林宝
变更后权利人 : 浙江游星电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 324300 浙江省开化县华埠镇双桥路38号开化县模具厂
变更后权利人 : 324000 浙江省衢州市开化县华埠镇双桥路19号
号牌文件序号 : 101744284963
IPC(主分类) : B24B 29/02
专利号 : ZL2008200859566
登记生效日 : 20161213
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 胡林宝
变更后权利人 : 浙江游星电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 324300 浙江省开化县华埠镇双桥路38号开化县模具厂
变更后权利人 : 324000 浙江省衢州市开化县华埠镇双桥路19号
2009-02-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN201189632Y.PDF
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