一种用于硅片制造的研磨装置
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型涉及硅片制造技术领域,具体为一种用于硅片制造的研磨装置,包括主体,所述主体的上端设置有支撑杆,且支撑杆的左右两端设置有齿牙,所述主体的左右两端开设有孔洞,且孔洞内固定安装有固定轴,所述固定轴的上端开设有孔洞,且孔洞内插设有固定杆,所述固定轴的右端设置有第一齿轮,且第一齿轮共设置有两组,两组所述第一齿轮与支撑杆左右两端的齿牙相适配。本实用新型通过第一电机和第二齿轮的设置,使得第一转杆带动上磨块进行顺向进行旋转运动,同时通过第四齿轮和第五齿轮的设置,使得第二转杆带动下磨块进行逆向运动,增加研磨接触面,提高研磨的效果和研磨质量。

基本信息
专利标题 :
一种用于硅片制造的研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021354980.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-11
授权号 :
CN213225681U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
李茂欣
申请人 :
上海磐盟电子材料有限公司
申请人地址 :
上海市松江区长塔路399号2幢
代理机构 :
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 :
尹均利
优先权 :
CN202021354980.2
主分类号 :
B24B37/00
IPC分类号 :
B24B37/00  B24B37/34  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
法律状态
2022-01-21 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : B24B 37/00
登记号 : Y2022310000003
登记生效日 : 20220105
出质人 : 上海磐盟电子材料有限公司
质权人 : 中国农业银行股份有限公司上海闵行支行
实用新型名称 : 一种用于硅片制造的研磨装置
申请日 : 20200711
授权公告日 : 20210518
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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