一种半导体硅片研磨装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体硅片研磨装置,包括底座,所述底座上侧壁固定连接有两个支撑板,两个所述支撑板的相对侧壁共同固定连接有顶板,所述顶板的上侧壁固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有第一转杆,所述第一转杆的下端固定连接有打磨石,两个所述支撑板的相对侧壁设有固定机构,所述固定机构包括放置板,所述底座上壁设有安装板,所述安装板上侧壁设有限位槽。本实用新型保证了硅片在研磨时的稳定性,使硅片在研磨过程中不会发生偏移,保证了硅片研磨后的厚度均匀和硅片产品的质量,还可以根据硅片的厚度进行高度调节,能够根据需要研磨不同厚度的硅片,扩大了装置的适用范围。

基本信息
专利标题 :
一种半导体硅片研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022244955.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-11
授权号 :
CN213498152U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
王海霖
申请人 :
西安市多极电磁技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区唐延路以东科技五路什字东北角CLASS国际公馆第1幢2单元5层20510号房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022244955.5
主分类号 :
B24B7/22
IPC分类号 :
B24B7/22  B24B27/00  B24B41/06  B24B41/02  B24B47/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料,如石头,陶瓷,瓷器
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332