一种硅片研磨废液过滤装置，包括废料桶，废料桶内固定有支撑桶，废料桶、支撑桶的底部均设置漏液孔，废料桶底部内侧或支撑桶底部外侧设置支脚，使支撑桶底部与废料桶底部留有间隙；支撑桶内可拆卸嵌套有废料袋，废料袋的材质为编织袋，废液注入废料袋内，其中的杂质被过滤留在废料袋内，其余的废水通过漏液孔排出。与现有技术相比，该实用新型的有益之处在于：本实用新型充分利用了废弃的废料桶以及废料袋，将废料袋套在支撑桶上，并将支撑桶固定在废料桶内，废液排放到废料袋内，对废液进行过滤，防止废液中的杂质堵塞排水沟，同时也实现了废物回收利用。