一种用于充电管理系统的防静电芯片及其制备方法
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摘要

本发明公开了用于充电管理系统的防静电芯片,包括衬底、形成在衬底内间隔排列的第一沟槽,第一沟槽内填充有第一外延层,形成在第一沟槽底部的注入区,位于衬底上表面并覆盖第一沟槽两侧的氧化硅层和位于氧化硅层之间的开口,形成在氧化硅层上和开口内的第二外延层,间隔排列在第二外延层内的多个第二沟槽,第二沟槽侧壁、底部形成有扩散区,第二沟槽之间的距离小于开口的宽度,形成在第二外延层上表面、第二沟槽内的第一金属层,以及位于衬底下表面的第二金属层。本发明还提供用于充电管理系统的防静电芯片制备方法,第一沟槽放电面积大,提升了单位面积下的放电能力,减小了器件寄生电容,能够满足快充电源管理系统中高频率器件的保护需求。

基本信息
专利标题 :
一种用于充电管理系统的防静电芯片及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114121938A
申请号 :
CN202111345542.9
公开(公告)日 :
2022-03-01
申请日 :
2021-11-12
授权号 :
CN114121938B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
胡海霞焦华坤
申请人 :
深圳市芸鸽科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区龙华街道三联社区三联创业路19号弓村新城商业中心(汇海广场)B座18层1808-1809
代理机构 :
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 :
梁炎芳
优先权 :
CN202111345542.9
主分类号 :
H01L27/02
IPC分类号 :
H01L27/02  H01L29/06  H01L21/822  H02J7/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
法律状态
2022-06-14 :
授权
2022-03-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/02
申请日 : 20211112
2022-03-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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