本发明涉及一种金刚石减振磨抛机构及其温度控制方法。金刚石减振磨抛机构包括可旋转磨盘、夹具和夹具控制器，夹具包括金刚石片固定装置、旋转动力装置、弹簧减振组件；金刚石片固定装置连接于旋转动力装置下方，由旋转动力装置驱动进行旋转；弹簧减振组件在旋转动力装置上方，并与旋转动力装置通过导轨槽滑动连接；旋转动力装置的外围设有降温机构；所述金刚石片固定装置侧面设有误触传感器，所述误触传感器与夹具控制器电连接。本发明的磨抛机构在研磨过程中将产生震动的振动源能量传递进装有减震弹簧装置中，经过弹簧进行能量释放；增加了降温机构避免工作温度过高，以及误触传感器可以防止夹具与金刚石磨盘直接摩擦，导致夹具损坏。