本发明属于相控阵雷达系统技术领域，提供一种具有温度补偿效应的高精度开关式移相单元，用以解决现有技术在高低温工作温度范围下温度可靠性差的问题。本发明高精度开关式移相单元由电感L₁、晶体管M₁、晶体管M₂与晶体管M₃构成，采用栅极接地保持关断状态的MOS晶体管M₃代替并联支路上的MIM、MOM电容，利用其寄生关断电容C_off具有正温度系数的特性，有效补偿移相单元因工作温度升高而造成的移相量减小，从而改善相位误差性能；利用其寄生关断电容C_off的Q值随温度变化不敏感的特性，保证相移单元的参考态与相移态的损耗在全工作温度下具有相同的变化趋势，从而改善附加幅度误差性能；综上，本发明能够保证芯片的全温度工作性能。