一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构
实质审查的生效
摘要

本发明提出一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构,传感器结构内、外框质量体分别由驱动轴电极稳定驱动,使其处于差分高频振荡,当有角速度信号输入时,内、外框质量体运动分别由敏感轴电极稳定检测并利用力反馈控制信号实现闭环控制。内、外框频率调节电极、正交补偿电极分别消除因加工误差等因数造成的质量体不对称,提高传感器结构工作效率。内、外框均具备独立陀螺仪效应及功能,合成差分的输出形式,有利提高输入信号的检测效率。该传感器结构能为MEMS陀螺仪信号处理电路提供抗干扰能力强,传感器信号强的基础器件,提升MEMS陀螺仪的性能和抗环境能力。

基本信息
专利标题 :
一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264293A
申请号 :
CN202111389396.X
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-11-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
穆清涛史凯陈晓峰张智杰黄树峰王伟王凯常红飞武雷
申请人 :
陕西华燕航空仪表有限公司
申请人地址 :
陕西省汉中市南郑区大河坎镇
代理机构 :
西北工业大学专利中心
代理人 :
华金
优先权 :
CN202111389396.X
主分类号 :
G01C19/5649
IPC分类号 :
G01C19/5649  G01C19/5656  G01C19/5663  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5649
信号处理
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5649
申请日 : 20211122
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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