样品在带电粒子显微镜中的3D映射
公开
摘要
样品在带电粒子显微镜中的3D映射。可基于样品的3D映射将所述样品定位在带电粒子显微镜的光轴上。用所述样品的背面照明和远心成像来产生所述3D映射，从而产生轮廓图像。组合所述轮廓图像以形成所述3D映射。使用所述3D映射将处理器耦合到样品台以定位所选择的样品或样品部分，以用于在所述带电粒子显微镜中进行成像。在一些实例中，所述处理器使用图形界面对样品的选择作出响应，使得所述样品台被控制以安全地定位所述所选择的样品而无需操作员进一步干预。
基本信息
专利标题 ：
样品在带电粒子显微镜中的3D映射
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613654A
申请号 ：
CN202111482750.3
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·卡梅内奇
申请人 ：
FEI公司
申请人地址 ：
美国俄勒冈州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张凌苗
优先权 ：
CN202111482750.3
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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