带电粒子显微镜装置及其视野调整方法
实质审查的生效
摘要
在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图像，根据多个重构图像推定多个关心区域的对应关系，根据对应关系调整多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据参照数据来进行。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子显微镜装置及其视野调整方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114342036A
申请号 ：
CN201980100022.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小林光俊宫本敦星野吉延
申请人 ：
株式会社日立高新技术
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN201980100022.6
主分类号 ：
H01J37/22
IPC分类号 ：
H01J37/22
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/22
与管子相联的光学或摄影装置
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/22
申请日 : 20190920
申请日 : 20190920
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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