探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法
公开
摘要
本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。
基本信息
专利标题 ：
探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114486729A
申请号 ：
CN202110687515.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-06-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小野田有吾繁野雅次上野利浩
申请人 ：
日本株式会社日立高新技术科学
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
崔成哲
优先权 ：
CN202110687515.3
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G02B21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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