本发明涉及低维纳米材料的加工领域，具体为一种高效可控气相短切碳纳米管的方法。先在碳纳米管上可控引入结构缺陷，再与具有一定化学反应活性的刻蚀性气体作用，进而实现碳纳米管的可控短切。具体过程为：将长度为百微米级的碳纳米管超声分散后单分散到基底上，采用等离子体处理在碳纳米管管壁可控引入一定密度的缺陷，进而引入具有合适化学活性的刻蚀性气体，使其优先在缺陷处与碳纳米管反应实现短切。通过调控等离子体的强度和时间来调控缺陷密度，通过调控刻蚀气体的浓度、反应温度和时间等调控短切碳纳米管的长度和效率。本发明可实现碳纳米管的精细加工，促进其在纳电子器件、药物输运、限域催化、气体传感等领域的应用。