本实用新型公开了一种用于化学气相沉积的可控制备装置，包括连接底座、固定涡壳、连接法兰和驱动电机，所述连接底座顶部安装有固定涡壳，且固定涡壳位于连接底座顶部一侧，所述固定涡壳一侧设有连接法兰，所述连接底座顶部安装有驱动电机，且驱动电机位于连接底座顶部另一侧，所述驱动电机的旋转端上安装有驱动轴，且驱动轴贯穿连接法兰伸进固定涡壳内。本实用新型的有益效果是，方便对连接叶轮进行安装与拆卸，方便对连接叶轮检修与更换，提高了工作效率，采用全包围螺母，提高了驱动轴的密封性，可以防止驱动轴的位置处聚集污垢，防止出现不能拆卸的现象，提高了防水密封性能，提高了工作效率，防止造成水资源浪费，通过注水口方便向固定涡壳内注水。