本发明公开了一种用于精密作业的计量集成并联装置，包括：拉杆并联机构和Stewart并联机构。所述拉杆并联机构的平台与所述Stewart并联机构的动平台为同一个平台，所述Stewart并联机构的静平台位于动平台正下方，通过六条伸缩腿与动平台相连接。所述拉杆并联机构通过六根定长且刚性良好的拉杆与所述Stewart并联机构的动平台相连接，拉杆的另一端与六条竖直的高精密导轨相连，将动平台的位姿转换为导轨上滑块的往复直线运动。高精度六自由度计量系统由六个直线光栅尺、光栅读数头以及六个对应的滑块铰点以一定的规律组成，在动平台的运动过程中测量动态位姿，并实时解算出动平台的运动误差；最后通过对Stewart并联机构的动态精度补偿，实现动平台高精度的运动轨迹合成。