设备数据采集诊断方法、装置、服务器及存储介质
实质审查的生效
摘要
本申请实施例提供的设备数据采集诊断方法、装置、服务器及存储介质，通过对包括主制程设备重要参数和产品检测数据的工站数据进行对比分析，并将分析结果反馈给设备形成比对分析闭环，提升产品良率；同时对异常进行等级区分，生成不同应对策略，降低人工成本，提升设备自动化程度。
基本信息
专利标题 ：
设备数据采集诊断方法、装置、服务器及存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114265390A
申请号 ：
CN202111576847.0
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王刚张文兵高峰
申请人 ：
苏州华星光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区方洲路338号
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨艇要
优先权 ：
CN202111576847.0
主分类号 ：
G05B23/02
IPC分类号 ：
G05B23/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B23/02
•电检验式监视
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05B 23/02
申请日 : 20211222
申请日 : 20211222
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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