本申请提供了一种扫描位置校准方法、装置及系统，其中，方法应用于控制系统；控制系统分别与扫描系统、布设于吸收板下方的温度传感器阵列通信连接；吸收板和温度传感器阵列均置于设备成型区内；每个温度传感器正上方位于吸收板下表面的位置为一个检测节点；方法包括：根据控制指令开启激光，以使激光经扫描系统偏转后到达设备成型区内的吸收板上的指定坐标值对应位置；在激光在吸收板上形成稳定热区后，通过传感器阵列获取各检测节点分别对应的温度值；根据各检测节点分别对应的温度值，确定激光到达吸收板上的实际位置对应的实际坐标值；基于指定坐标值和实际坐标值，对扫描系统进行校准。本申请能够提高扫描系统的扫描位置的校准精度。