特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置
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摘要
本发明涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法包括如下步骤：获取样品片的前值和标准片的前值；根据如下公式计算标准片的标准值：OPALtarget＝QCtarget×OPALactual/QCactual，式中，OPALtarget表示标准片的标准值，QCactual表示样品片的前值，QCtarget表示样品片的目标值，OPALactual表示标准片的前值；根据标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片的测试值；判断样品片的测试值与样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。本发明节约了校准时间，提高了CDSEM机台的校准效率，并改善了CDSEM机台测量结果的准确性和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112863980A
申请号 ：
CN202110006982.5
公开（公告）日 ：
2021-05-28
申请日 ：
2021-01-05
授权号 ：
CN112863980B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
罗振斌彭超芈健蒋鹏
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202110006982.5
主分类号 ：
H01J37/153
IPC分类号 ：
H01J37/153 H01J37/20 H01J37/22 H01J37/28
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/153
用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2021-06-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/153
申请日 : 20210105
申请日 : 20210105
2021-05-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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