一种液氮补给控制装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种液氮补给控制装置,包括:工控机、液氮罐、液氮泵加热棒、液氮泵控制器、补液管、第一杜瓦罐和第二杜瓦罐;液氮泵控制器,与工控机连接,被配置为基于工控机的补液指令控制液氮泵加热棒加热液氮罐,以提高液氮罐的内部压力;补液管,其一端接入液氮罐内,另一端接入第一杜瓦罐内,以在补液过程中,在液氮罐的内部压力的作用下,将液氮罐内的液氮导入第一杜瓦罐中;第一杜瓦罐,其与第二杜瓦罐之间设置有连通器,以在补液过程中通过连通器保持第一杜瓦罐的液面高度与第二杜瓦罐的液面高度一致。本公开的液氮补给控制装置,可以替代人工加注液氮,保证执行测试操作的杜瓦罐内的液氮始终浸没芯片,提高芯片测试的准确性。

基本信息
专利标题 :
一种液氮补给控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114263847A
申请号 :
CN202111603782.4
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
艾博许向阳贾月明刘路宽
申请人 :
北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请人地址 :
北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 :
工业和信息化部电子专利中心
代理人 :
田卫平
优先权 :
CN202111603782.4
主分类号 :
F17C5/02
IPC分类号 :
F17C5/02  F17C13/04  F17C13/02  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C5/00
液化、固化或压缩气体装入压力容器的方法和设备
F17C5/02
用于装填液化气体的
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F17C 5/02
申请日 : 20211224
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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