本发明公开了一种低温冷冻法去除氟甲烷杂质的装置，包括依次连通的第一冷冻塔、第二冷冻塔、负压缓冲罐、膜压机和高压缓冲罐；第一冷冻塔和第二冷冻塔的输入端均连接有热氮气源、低温液氮源、一氟甲烷原料罐，输出端均连接负压缓冲罐；高压缓冲罐的输出端连接有一氟甲烷产品罐，用于收集净化后的一氟甲烷；第一冷冻塔为用于冷冻杂质的工作塔或用于解冻杂质的解冻塔，对应地第二冷冻塔为解冻塔或工作塔，第一冷冻塔和第二冷冻塔的冷冻与解冻程序相互切换，以实现气体连续供应。本发明具有安全性高、设备投入少、耗能少、经济行好、工艺操作简单、产品纯度高的优点。