增强等离子体光谱强度和重复性的系统及其使用方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及等离子体设备技术领域,尤其涉及一种增强等离子体光谱强度和重复性的系统及其使用方法,旨在解决样品表面形成的等离子体的能量较低,导致等离子体光谱强度和重复性较低的问题。该系统包括具有容纳腔的壳体、激光器、光谱检测器、图像采集器和等离子体能量增加器,壳体具有多个朝向不同的壳壁,壳壁上开设有连通外部与容纳腔的通孔,激光器、图像采集器和光谱检测器分别安装于不同的壳壁的通孔处,并分别用于在样品表面生成等离子体、采集等离子体的图像和检测等离子体的光谱,通过在壳体上增设等离子体能量增加器,可以增加等离子体的能量,进而增强等离子体的光谱强度和重复性。
基本信息
专利标题 :
增强等离子体光谱强度和重复性的系统及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114509424A
申请号 :
CN202111641168.7
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王锐马晓红
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区双清路30号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
王欢
优先权 :
CN202111641168.7
主分类号 :
G01N21/71
IPC分类号 :
G01N21/71
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发,因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/71
热激发的
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/71
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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