等离子体光谱分析装置

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摘要

本发明涉及等离子体光谱分析装置。本发明的目的在于在使用了消费流量较高的气体的等离子体光谱分析装置中，实现有效的气体过滤，提高其分析能力。为此，本发明提供一种等离子体光谱分析装置，其具备：生成并送出包含待分析试样的喷射气体的试样导入部、生成待导入喷射气体的等离子体的等离子体生成部、以及设置在等离子体生成部的后段对待分析试样进行分析的分析部。该等离子体光谱分析装置具备：用于向试样导入部供给气体的第一气体管线、用于向等离子体生成部供给气体的第二气体管线、以及设置于第一气体管线并用于除去气体中包含的杂质的过滤器。

基本信息

专利标题：

等离子体光谱分析装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN107024527A

申请号：

CN201710043619.4

公开（公告）日：

2017-08-08

申请日：

2017-01-19

授权号：

CN107024527B

授权日：

2022-04-12

发明人：

永田洋一敦贺周作桑原健雄飞山了介

申请人：

安捷伦科技有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

陈静

优先权：

CN201710043619.4

主分类号：

G01N27/62

IPC分类号：

G01N27/62 G01N21/73