本公开提供了一种低膨胀金属补强件蚀刻工艺，包括以下步骤：准备低膨胀金属料带，然后对料带进行清洗；然后在料带的正面上依次确定产品的位置，并对每个产品需要蚀刻的凸点位置进行遮蔽；然后曝光显影，再对料带的正面和反面同时进行蚀刻，先成型出每个产品的凸点结构；然后在料带的正面和反面上，对与每个产品的形状结构相对应的位置进行遮蔽；然后曝光显影，蚀刻出每个产品的形状结构；然后去除每个产品上的遮蔽材料，完成产品的蚀刻加工。本公开能够保证产品正面和反面的应力均匀，产品不易出现局部应力不均变形导致平面度严重超标等，产品的平面度好，从而提高了产品的品质和良率等，工艺简单、稳定、可靠，便于产品的批量生产。