金属蚀刻液及金属蚀刻方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种金属蚀刻液，包括：5至30wt％的氧化剂；2.5至15wt％的氨基酸；2.5至15wt％的磷酸盐；2至15wt％的非氨基酸类羧酸；以及余量的水。在本发明中，通过选用过氧化氢及过硫酸盐作为氧化剂，并将两者之间的使用重量比控制在1：1.5至1：5之间，使得金属蚀刻液可具有良好的蚀刻效率、使用寿命及安全性。
基本信息
专利标题 ：
金属蚀刻液及金属蚀刻方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114438495A
申请号 ：
CN202011209219.4
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许靖惟
申请人 ：
宣城亨旺新材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省宣城市宣州经济开发区叠翠西路2号
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN202011209219.4
主分类号 ：
C23F1/18
IPC分类号 ：
C23F1/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/18
蚀刻铜或铜合金用的
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/18
申请日 : 20201103
申请日 : 20201103
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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