一种提高金属产品蚀刻质量的方法
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摘要
本发明涉及一种提高金属产品蚀刻质量的方法，包括：在常温下，将涂覆感光材料进行曝光处理的预蚀刻片，然后先在三氯化铁蚀刻液中蚀刻预蚀刻片厚度的三分之一，再在氢氟酸蚀刻液中蚀刻余下的预蚀刻片，即可。本发明在常温下先后仅采用三氯化铁和氢氟酸蚀刻，不需要额外加热，也不需要加入其它种类的蚀刻液，成本低，并且可以有效提高蚀刻质量，具有良好的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种提高金属产品蚀刻质量的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111607794A
申请号 ：
CN202010553376.0
公开（公告）日 ：
2020-09-01
申请日 ：
2020-06-17
授权号 ：
CN111607794B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
任忠平尹国钦陈绍文
申请人 ：
宁波福至新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市北仑区新碶明州西路491号1幢1号厂房37
代理机构 ：
上海泰能知识产权代理事务所
代理人 ：
魏峯
优先权 ：
CN202010553376.0
主分类号 ：
C23F1/28
IPC分类号 ：
C23F1/28
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/28
蚀刻铁族金属用的
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-09-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/28
申请日 : 20200617
申请日 : 20200617
2020-09-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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