蚀刻金属层的组合物以及使用其形成金属图案的方法

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种用于蚀刻金属层的组合物，该组合物包括：重量比为大约55％到大约80％的磷酸；重量比为大约3％到大约15％的硝酸；重量比为大约5％到大约20％的乙酸；重量比为大约0.5％到大约10％的磷酸盐；重量比为大约0.1％到大约5％的含氯化合物；重量比为大约0.01％到大约4％的偶氮化合物；以及水。

基本信息

专利标题：

蚀刻金属层的组合物以及使用其形成金属图案的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1966772A

申请号：

CN200510114837.X

公开（公告）日：

2007-05-23

申请日：

2005-11-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金钟一李坰默宋桂燦曹三永申贤哲金南绪李骐范

申请人：

LG.菲利浦LCD株式会社;东进世美肯株式会社

申请人地址：

韩国首尔

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国

优先权：

CN200510114837.X

主分类号：

C23F1/16

IPC分类号：

C23F1/16 G02F1/136

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23F

非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理

C23F1/00

金属材料的化学法蚀刻

C23F1/10

蚀刻用组合物

C23F1/14

含水组合物

C23F1/16

酸性组合物

法律状态

2018-11-06 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23F 1/16
申请日 : 20051117
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20171117

2014-04-09 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101699943593
IPC(主分类) : C23F 1/16
专利号 : ZL200510114837X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 乐金显示有限公司
变更后权利人 : 乐金显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国首尔
变更后权利人 : 韩国首尔
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东进世美肯株式会社
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20140320

2009-07-08 ：

授权

2007-07-18 ：

实质审查的生效

2007-05-23 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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