晶圆控片检测方法及装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆控片检测方法及装置。所述晶圆控片检测方法包括如下步骤：拍摄一待检测的晶圆控片的原始图像；根据所述原始图像获取所述晶圆控片的第一缺陷信息，所述第一缺陷信息包括多个缺陷类型、以及每一所述缺陷类型在所述晶圆控片上的位置；根据所述第一缺陷信息对所述晶圆控片进行电子束扫描，获取每一所述缺陷类型的缺陷图像。本发明提高了晶圆控片检测的效率和准确度。
基本信息
专利标题 ：
晶圆控片检测方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114332017A
申请号 ：
CN202111643222.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
詹万鹏屠礼明张卫涛
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈丽丽
优先权 ：
CN202111643222.1
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06K9/62 G06V10/764
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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