本公开提供一种晶圆片位置检测装置及检测方法，该装置包括：位置检测组件，用于测量承载晶圆片的承载面上多个基准位置点的位置数据、及所述晶圆片上多个测量位置点的位置数据，所述多个基准位置点与所述多个测量位置点一一对应而分为多组位置点，同一组位置点处于沿所述晶圆片径向延伸的同一直线上；移动组件，连接所述位置检测组件，用于在所述多个基准位置点及所述多个测量位置点之间移动；处理器，连接所述位置检测组件，用于根据多组位置点的位置数据，判断所述晶圆片是否超出允许范围。本公开提供的晶圆片位置检测装置及检测方法，能够实现晶圆片搭边、翘曲、叠片等问题进行自动化检测，以及时发现故障，保证设备稳定运行，提高生产效率。