本发明提供一种晶圆对准装置及方法、晶圆测试方法，其中，所述晶圆对准装置包括：图像获取模块，用于获取晶圆图像，所述晶圆图像至少包括用于晶圆对准的对准标记；图像调节模块，用于调整晶圆图像的获取参数，以使所述图像获取模块获取不同灰度的晶圆图像；图像存储模块，用于存储不同灰度的晶圆图像作为晶圆对准的参考图像；对准分析模块，用于将图像获取模块实时获取的晶圆图像与图像存储模块存储的参考图像进行逐一对比，以判断晶圆是否对准。本发明通过获取不同灰度的晶圆图像，并与灰度不同的多个参考图像逐一对比，减少了所述晶圆图像的灰度因素对晶圆对准结果的干扰，减少了晶圆对准失败的发生概率，从而提高晶圆测试效率。