一种光敏剂及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明适用于光敏剂技术领域，提供了一种光敏剂及其制备方法。所述光敏剂的结构通式为：其中，所述R1为氢、碳原子数为1～10的芳烃会含硫/氧/氮杂原子的取代基的一种或多种；所述R2为氢、甲基、丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、异丁氧基或氟、溴、碘的一种或多种；所述R3为氢、碳原子数为1～10的烷烃的芳烃或含硫/氧/氮杂原子的取代基的一种或多种；所述R4为氢、碳原子数为1～10的烷烃的芳烃或含硫/氧/氮杂原子的取代基的一种或多种。本发明提供的光敏剂及其制备方法能够有效的控制算扩散范围，使光刻胶拥有更好的形貌和线宽粗糙度，降低缺陷，同时本发明提供的制备方法步骤简单，能够实现制备多种光敏剂。
基本信息
专利标题 ：
一种光敏剂及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114315584A
申请号 ：
CN202111656548.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
夏力顾大公马潇陈鹏许从应毛智彪
申请人 ：
宁波南大光电材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号
代理机构 ：
深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张红伟
优先权 ：
CN202111656548.8
主分类号 ：
C07C69/54
IPC分类号 ：
C07C69/54 C07D285/16 C07C309/06 C07C317/04 G03F7/004 C07C315/04 C07C303/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07C
无环或碳环化合物
C07C69/00
羧酸酯；碳酸酯或卤甲酸酯
C07C69/52
无环不饱和羧酸酯，其酯化的羧基连接非环碳原子
C07C69/533
只有1个碳-碳双键的一元羧酸酯
C07C69/54
丙烯酸酯；甲基丙烯酸酯
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C07C 69/54
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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