一种含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚,属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域。本发明所述复合材料坩埚包括C/SiC复合材料坩埚本体以及涂覆在坩埚本体内表面的氧化铝涂层,且C/SiC复合材料坩埚本体中的陶瓷基体为非晶型SiC以及氧化铝涂层以γ‑Al2O3为主;以γ‑Al2O3为主的涂层与非晶型SiC陶瓷基体具有良好的适配性,结合强度高,在满足坩埚力学性能要求的基础上,一方面大大降低了Si蒸汽对坩埚的侵蚀,而且避免了对复合材料坩埚的机械损伤,提高了坩埚的使用寿命,一方面在单晶硅拉制过程中不会引入杂质成分,保证了拉制单晶硅过程中熔融硅的纯度,与同时使用石英坩埚和炭/炭复合材料坩埚相比,采用本发明所述复合材料坩埚拉制单晶硅的成本显著降低。
基本信息
专利标题 :
一种含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114455964A
申请号 :
CN202111658860.0
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
程皓张永辉白鸽郁荣康媛媛候雯菲程凯峰
申请人 :
西安超码科技有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业一路56号研祥城市广场B座23层2322室
代理机构 :
北京理工大学专利中心
代理人 :
付雷杰
优先权 :
CN202111658860.0
主分类号 :
C04B35/80
IPC分类号 :
C04B35/80 C04B35/622 C04B35/571 C04B41/87 C30B15/10 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/71
含有宏观增强剂的陶瓷制品
C04B35/78
含非金属材料的
C04B35/80
纤维、单丝、晶须、薄片或其他类似材料
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/80
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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