形成含有结晶化氧化铝的保护涂层的方法
实质审查的生效
摘要
本公开内容的实施方式大体上关于基板上的保护涂层及沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，在基板上形成保护涂层的方法包括：在第一气相沉积处理期间在基板的表面上沉积含有非晶氧化铬的氧化铬层；及在第一退火处理期间加热含有包含非晶氧化铬的氧化铬层的基板，以将非晶氧化铬的至少一部分转换成结晶氧化铬。所述方法还包括：在第二气相沉积处理期间在氧化铬层上沉积含有非晶氧化铝的氧化铝层；及在第二退火处理期间加热含有设置在氧化铬层上的氧化铝层的基板，以将非晶氧化铝的至少一部分转换成结晶氧化铝。
基本信息
专利标题 ：
形成含有结晶化氧化铝的保护涂层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341397A
申请号 ：
CN202080061931.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-07-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大野贤一埃里克·H·刘苏克蒂·查特吉尤里·梅尔尼克托马斯·奈斯利大卫·亚历山大·布里兹兰斯·A·斯卡德尔普拉文·K·纳万克尔
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080061931.6
主分类号 ：
C23C16/40
IPC分类号 ：
C23C16/40 C23C16/455 C23C16/56 F01D5/28
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C16/40
氧化物
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/40
申请日 : 20200709
申请日 : 20200709
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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