本发明公开了一种晶圆片开槽方法及黄胶膜边缘切割设备，包括以下步骤，将大片晶圆片进行倒片，并进行切割，切割成方片，对切割后的方片晶圆片进行覆膜，覆膜后对方片晶圆片进行原片切割，切割成原片的晶圆片，对其进行静电膜切割，然后进行裂片，裂片完成后，通过切割设备对原片型晶圆片进行黄胶膜边缘切割，黄胶膜边缘切割完成后，对其进行玻璃倒边与槽口加工，玻璃倒边与槽口加工工序完成后，对其进行检验与首道清洗。本发明的有益效果：将晶圆片边缘的黄胶膜切除，然后通过机床对其进行槽口加工，在后期的玻璃倒角中即可避免倒角后晶圆片外形尺寸统一性差，倒角边沿宽度精度低等问题，晶圆片加工方便，且提高了良率。