气浮平台动态水平度检测方法及应用该方法的晶圆传输系统
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种气浮平台动态水平度检测方法，应用于晶圆传输系统，通过matlab分析第一片晶圆与第n+1片晶圆的坐标信息，根据第一片晶圆的位置与气浮平台达到动态稳定后的第n+1片晶圆的位置之间的偏移量α，抽象出几何模型，通过公式计算出气浮平台的在达到动态平衡后的水平度偏差θ。采用本发明的一种气浮平台动态水平度检测方法和晶圆传输系统，通过晶圆位置预对准，并且实时检测晶圆传输到气浮平台上的位置，供检测系统实时调整检测模块的位置或进行检测结果校正，提高了检测精度，避免检测误差，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
气浮平台动态水平度检测方法及应用该方法的晶圆传输系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114322853A
申请号 ：
CN202111676800.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
鲍伟成张冬峰王旭晨王文广叶莹
申请人 ：
上海果纳半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
代理机构 ：
苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
莫英妍
优先权 ：
CN202111676800.1
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 H01L21/677
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/26
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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