一种常压等离子增强的镀膜装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种常压等离子增强的镀膜装置,镀膜装置包括壳体、电源、激励线缆、气体输入管、喷枪、药液罐、注液泵、注液管,喷枪设置在壳体内底部,药液罐、注液泵设置在壳体内,注液管依次将药液罐、注液泵、喷枪顶部连接在一起,喷枪包括枪筒、第一电极和第二电极,第一电极设置在枪筒内顶部侧壁上,第二电极设置在枪筒内顶部中央,第二电极中央设沿枪筒轴线的通孔,枪筒底部带有减缩段,枪筒内第一电极、第二电极之间的夹层区域为电离腔,枪筒底部减缩段为喷射腔,枪筒内电离腔、喷射腔之间区域为混合腔,气体输入管从外部插入壳体内并连接到电离腔顶部壁面,注液管连接至第二电极内通孔的顶部,激励线缆分别连接电源和第一、二电极。
基本信息
专利标题 :
一种常压等离子增强的镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318250A
申请号 :
CN202111678288.4
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
苏宜鹏冼健威李南杰
申请人 :
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市长安镇乌沙社区振伟路6号二楼
代理机构 :
北京华际知识产权代理有限公司
代理人 :
刘静
优先权 :
CN202111678288.4
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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