一种常压等离子增强的镀膜系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种常压等离子增强的镀膜系统，包括主体，所述主体的顶部固定安装有等离子枪头和加热腔，所述主体的顶部设置有药罐和注射泵，所述药罐与注射泵相连，所述注射泵与加热腔相连，所述加热腔与等离子枪头相连，所述加热腔的内部安装有温度传感器和加热棒，所述药罐的内部安装有液位传感器，所述主体的内部安装有水冷管道，所述主体的表面固定安装有两组水冷接口。本实用采用等离子和药液二次电离的方式，实现了等离子增强的射流镀膜，并通过精准的温度及流量实时监控装置，可有效控制镀膜时间及镀膜效果，提高了镀膜时的均匀度，而且使用超低功率的常压等离子电源，可降低30％的使用功率，有效控制了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种常压等离子增强的镀膜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122971730.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216514093U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
苏宜鹏冼健威李南杰
申请人 ：
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇乌沙社区振伟路6号二楼
代理机构 ：
北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
梁清照
优先权 ：
CN202122971730.4
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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