本实用新型涉及一种单晶炉热屏真空清洁装置，包括抽真空箱体，其内部用于容放单晶炉热屏；真空泵，与所述抽真空箱体连通，用于对所述抽真空箱体内部抽真空；过滤罐，安装在所述抽真空箱体与所述真空泵之间，并且分别与所述抽真空箱体与所述真空泵连通。使用时将待清洁的热屏放入抽真空箱体中，然后启动真空泵对箱体进行抽真空，当抽真空箱体内的压力由常压逐步减小到一定真空度时，热屏表面、缝隙及内部夹层里的杂质及氧化的挥发物就会被彻底吸出，然后被沉积在过滤罐中。该清洁装置通过抽真空的方式，将热屏夹层内的杂质及氧化物彻底清理干净，使其不会对拉晶原料造成污染，从而降低首次投料拉晶的断线率，提高产能、节约成本。