一种适应于MEMS产品快速批量封装的载具
授权
摘要
本实用新型公开了一种适应于MEMS产品快速批量封装的载具，涉及MEMS封装领域，包括底板和盖板，其特征在于：所述底板上设置有多个第一载板，所述盖板上与第一载板的对应位置处设置有第二载板，所述第一载板和第二载板均为中空的，所述底板远离盖板的一面上粘贴有耐高温胶带，所述底板上设置有吸附组件，使得管壳更贴于第一载板，本实用新型中管壳穿过第一载板与底板上的耐高温胶带粘接，使得管壳固定，不发生晃动，同时使得MEMS可以实现批量封装，提高良品率，同时提高了工作效率，所述第一定位柱的外径和第一定位孔的内径一致，所述第二定位柱的外径和第二定位孔的内径一致，此为防呆设计，防止第一定位孔和第二定位孔的位置放错。
基本信息
专利标题 ：
一种适应于MEMS产品快速批量封装的载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121489211.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-01
授权号 ：
CN216512850U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
李威韩金龙
申请人 ：
格物感知（深圳）科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区福保街道市花路长富金茂大厦37层3710F
代理机构 ：
苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
魏孝廉
优先权 ：
CN202121489211.8
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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