用于批量化生长石墨烯薄膜的载具
授权
摘要
本实用新型提供一种用于批量化生长石墨烯薄膜的载具，包括用于承载生长衬底的多个支撑板和用于支撑多个支撑板的板架，板架呈空心方柱结构且其水平设置，板架包括两个相对设置的侧部，两个侧部的相互面对的一面开有多个相互独立的条形槽，两个侧部上的条形槽一一对应，支撑板能够沿着两个对应的条形槽插入板架内。
基本信息
专利标题 ：
用于批量化生长石墨烯薄膜的载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921241279.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-02
授权号 ：
CN211311578U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
刘忠范彭海琳张月新张金灿刘晓婷李广亮
申请人 ：
北京石墨烯研究院;北京大学
申请人地址 ：
北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
阚梓瑄
优先权 ：
CN201921241279.7
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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