本实用新型属于过滤装置技术领域，具体涉及一种硅烷充装系统用过滤装置；它包括外箱体，外箱体内设置导向杆和过滤箱，导向杆上设置中间导轮，过滤箱上设置过滤接管和导向槽；外箱体前后两侧壁板的内侧面上均固定设置有导轮座板，导轮座板上转动设置有侧导轮；过滤箱的内部设置有下隔板和上隔板，下隔板与上隔板间隔布置，下隔板的顶部与上隔板之间连接有顶挡板，下隔板和上隔板之间设置有第二滤芯，上隔板与过滤箱的侧壁板之间设置有第一滤芯，第一滤芯和第二滤芯上均设置有滤芯下出口和滤芯上出口，顶挡板上设置有挡板出口；本实用新型结构合理，使用方便，可同时为多个容器进行过滤，过滤效率高，降低了生产成本。