一种抛光机压头驱动装置
授权
摘要
本实用新型公开一种抛光机压头驱动装置，包括箱体、气缸、上固定板、中固定板、下固定板、轴、支撑杆和轴承座，所述轴的底部与压头连接，所述下固定板的下表面固定安装在所述箱体的上表面，所述支撑杆的下端固定安装在所述下固定板上表面四个角的位置，所述轴承座套设在所述支撑杆的外表面且固定安装在所述中固定板的下表面，所述支撑杆的上端与所述上固定板固定连接，所述气缸固定安装在所述上固定板的上表面，所述轴贯穿通过所述下固定板和所述中固定板，所述轴的上端贯穿所述中固定板的位置处安装有调心滚子轴承，所述调心滚子轴承的上端固定安装有轴承压盖。减少生产中因机加工或安装导致的误差造成的轴抖动，同时节省了空间。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光机压头驱动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121720423.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-28
授权号 ：
CN216228685U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
寇明虎刘泳沣
申请人 ：
北京特思迪半导体设备有限公司
申请人地址 ：
北京市顺义区顺强路1号1幢2号楼101
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202121720423.2
主分类号 ：
B24B29/00
IPC分类号 ：
B24B29/00 B24B41/04 B24B47/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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