本实用新型提供了一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，压头板安装在抛光机压头上，该辅助装置设置在压头的正下方用于辅助压头板进行拆装，该辅助装置包括气缸、底板、导向机构及支撑机构，底板、气缸及支撑机构从下到上依次设置，支撑机构包括支撑板及两个分别设置在支撑板两端的顶杆，气缸的底端设置在底板上，气缸的输出端与支撑机构相连，导向机构设置在底板和支撑板之间，导向机构包括两个在竖直方向设置的导向杆，两个导向杆关于气缸对称设置，导向杆的底端设置在底板上，导向杆的顶端与支撑机构相连，该装置可以帮助维修人员方便地对抛光机的压头板进行拆卸、安装，节省了人工劳动力，提高了拆装效率。