一种单晶炉用外置式吸杂加料装置
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摘要

一种单晶炉用外置式吸杂加料装置,包括安全壳、吸杂罐和加料器;吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作,加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作;安全壳固定于支架上,其一端通过隔离阀与单晶炉主炉室的炉筒或炉盖连接,安全壳的另一端设置有密封盖,根据吸杂加料操作需要与外界隔离或开放;安全壳底部一侧安装有伸缩机构,伸缩机构上设置有固定吸杂罐的结构,并通过自带的轨道安装于安全壳底部,吸杂罐则安装固定在伸缩机构上,由伸缩机构带动可沿着安全壳内固定的轨道前后移动。该装置能够对单晶炉吸杂、加料操作,既能够增加单晶炉的单炉投料量和拉棒根数,又能降低多次拉棒所引起的晶棒间的质量差异性,大大提高单晶生长质量。

基本信息
专利标题 :
一种单晶炉用外置式吸杂加料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121921174.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-17
授权号 :
CN216585311U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
陈怀斌
申请人 :
江苏神汇新型陶瓷材料科技有限公司
申请人地址 :
江苏省连云港市东海县东经济开发区晶都大道东路938号5号厂房
代理机构 :
连云港润知专利代理事务所
代理人 :
马强
优先权 :
CN202121921174.3
主分类号 :
C30B15/02
IPC分类号 :
C30B15/02  C30B15/00  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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