一种单晶炉加料装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种单晶炉加料装置,通过控制直线模组将石英玻璃管定位到炉体内合适位置,将竖波纹管和装料单元连接后,将装料单元内抽真空,打开真空闸板阀,通过控制气缸将尼龙套移动到下位,装料单元中的硅料通过可伸缩非金属管、尼龙套和尼龙弯头后落入到具有一定倾斜角度的石英玻璃管中,通过电机控制传动装置带动石英玻璃管旋转,石英玻璃管内壁的螺旋状表面或槽筋状表面能够推送硅料顺利的进入到炉体内。本发明实现了在炉体不降温的情况下对炉内硅料的补充,减少炉子降温和升温过程中的能耗,节约时间成本;采用传动装置带动粗糙内壁的石英玻璃管旋转推送物料的方式,避免了对单晶炉内热场环境的影响,提升了产品品质。

基本信息
专利标题 :
一种单晶炉加料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411241A
申请号 :
CN202210245069.5
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁华中朱吉元朱一鸣谢剑舟来迪文史冰冰
申请人 :
浙江精功科技股份有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市柯桥区鉴湖路1809号
代理机构 :
天津知川知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
耿树志
优先权 :
CN202210245069.5
主分类号 :
C30B15/02
IPC分类号 :
C30B15/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/02
申请日 : 20220311
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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