单晶硅加料器

避免重复授权放弃专利权

摘要

一种单晶硅加料器，包括一筒体，筒体内腔中置有一根具有轴套的中心轴，轴套由径向支撑杆定位在筒体上；所述中心轴下端设有一重锤，重锤向下伸出筒体的下端口，筒体下端口的端口壁上环设有多片合页，重锤上具有一个搭接平面；所述中心轴向上伸出筒体的上端口，中心轴的顶部为连接部，该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配，中心轴连接部下方的轴上设有若干个定位销孔；所述筒体的上端口端面外凸形成一挂沿。利用本加料器，在单晶炉拉制单晶棒过程中也可添加原料，因此，它具有确保足量投料、石英坩埚利用率和成品率高，以及能充分利用单晶棒尾料的优点。

基本信息

专利标题：

单晶硅加料器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820166095.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-14

授权号：

CN201277809Y

授权日：

2009-07-22

发明人：

陆昌忠

申请人：

浙江华友电子有限公司

申请人地址：

324300浙江省开化县工业园区园一路40号

代理机构：

杭州裕阳专利事务所（普通合伙）

代理人：

应圣义

优先权：

CN200820166095.4

主分类号：

F27B14/14

IPC分类号：

F27B14/14