一种用于电镀设备的工装及电镀设备
授权
摘要
本申请公开了一种用于电镀设备的工装及电镀设备，用于电镀设备的工装包括：本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。本申请通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。
基本信息
专利标题 ：
一种用于电镀设备的工装及电镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121932657.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-17
授权号 ：
CN216274428U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
张冬欣
申请人 ：
通富微电子股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市崇川路288号
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭栋梁
优先权 ：
CN202121932657.3
主分类号 ：
C25D17/02
IPC分类号 ：
C25D17/02 C25D17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/02
镀槽；镀槽的安装
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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