本实用新型涉及半导体测量技术领域，具体是一种半导体直径测量装置，底座，所述底座的顶部固定连接有支撑架，支撑架的顶端固定连接有箱体，箱体的一侧内壁开设有滑动孔，滑动孔内滑动连接有活动杆，活动杆的一端固定连接有激光测距头，底座的底部内壁固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端通过联轴器连接有驱动轴；本实用新型能够启动伺服电机带动驱动轴转动，驱动轴转动通过传动轮和传动带带动转动杆转动，转动杆转动带动缺口齿轮转动，缺口齿轮转动带动齿条和滑动板进行移动，使得滑动板在轨道上进行移动，实现了可以带动圆柱半导体进行间歇式移动，进而可以对圆柱半导体不同位置的直径进行测量，提高了测量的精准度。